Качественный и количественный микрорентгеноспектральный анализ (EDS) в точке, распределение элементов по линии и на площади. Режим высокого вакуума (HiVac) с применением различных детекторов: вторичных, обратно-рассеянных и проходящих электронов (ETD, CBS, STEM) позволяет получать изображения высокого разрешения (до 0,8 нм) металлических, композиционных, порошковых материалов. Режим низкого вакуума (LoVac) позволяет исследовать непроводящие органические и неорганические материалы (полимеры, резины, бетоны и т. д.). Режим естественной среды (ESEM) для влажных (биологических) и газящих образцов (различные материалы с летучими компонентами, в том числе нефтегазодобывающей промышленности).
